氧化鋯陶瓷磨削加工方法在上面幾篇文章中已經介紹了三種，最后一種陶瓷超聲波磨削加工法也可用于精密陶瓷零件加工，下面科眾陶瓷廠將介紹最后一種磨削加工方法---超聲波磨削加工。

超聲波磨削加工主要是利用超聲振動的工具，帶動工件和工具間的磨料懸浮液，對被加工陶瓷工件進行沖擊和拋磨，使其局部材料被蝕除而成粉末，來達到穿孔切割和研磨、拋光的目的。

超身波磨削加工原理圖

在陶瓷材料磨削加工中通過不同的磨削參數對氧化鋯陶瓷進行普通和超聲波輔助磨削加工，研究表明普通磨削時，隨著砂輪速度的增加，氧化鋯陶瓷磨削力明顯減少，而超聲磨削沒有明顯變化；超聲磨削深度能達到10μm，高于普通磨削近10μm。超聲波磨削加工與電火花、電解、激光加工技術相比，既不依賴材料的導電性又沒有熱物理作用，特別適合氧化鋯等硬脆材料的微細加工，正向著高精度、微細化方向發展。

備注：由于氧化鋯陶瓷的制備工藝以及增韌方法不同，制備出的氧化鋯陶瓷制品性能及其加工方式也有極大的區別。例如研究人員采用陶瓷復相的方式對氧化鋯陶瓷進行增韌處理，因此對這類陶瓷材料的磨削加工會采用其他的加工方式，如激光熱應力切割技術，磨料水射流加工，金剛石套料銑削加工，電火花加工等等。

氧化鋯陶瓷固定塊

氧化鋯陶瓷超聲加工是在加工工具或被加工材料上施加超聲波振動，在工具與工件之間加入液體磨料或糊狀磨料，并以較小的壓力使工具貼壓在工件上。氧化鋯陶瓷加工時，由于工具與工件之間存在超聲振動，迫使工作液中懸浮的磨粒以很大的速度和加速度不斷撞擊、拋磨被加工表面，加上加工區域內的空化、超壓效應，從而產生材料去除效果。

氧化鋯陶瓷超聲加工與其它加工方法相結合，形成了各種超聲復合加工工藝，如超聲車削、超聲磨削、超聲鉆孔、超聲螺紋加工、超聲振動珩磨、超聲研磨拋光等。超聲復合加工方式較適用于氧化鋯陶瓷的加工，其加工效率隨著氧化鋯陶瓷材料脆性的增大而提高。
研究人員對氧化鋯陶瓷材料的超聲磨削加工進行了研究，使陶瓷材料的加工效率提高近一倍；

在對氧化鋁陶瓷與氧化鋯陶瓷進行加工時，在工具與工件上同時施加超聲振動，從而使加工效率提高了2～3倍；在鉆頭上施以超聲振動進行深孔加工，大大提高了孔內表面質量與孔的圓度。